方块电阻(Sheet Resistance),也被称为膜电阻,主要用于描写薄膜状导电材料的电阻特性。是一个表征参数,用于衡量单位面积内的电阻值,用于蒸发铝膜、导电漆膜、印制电路板铜箔膜等薄膜导电材料中。
方块电阻的基本计算公式可以表示为 Rs = ρ/t中 ρ 代表材料的电阻率,t 代表材料的厚度。当斟酌到电导率(σ)时,公式变成 Rs = 1/(σt)实际运用,方块电阻乘以长宽比例 R = Rs * L/W 便可得到整体的电阻值,这里的 L 是长度,W 是宽度。
方块电阻的丈量采取四探针法,这类方法可以减少接触电阻对方块电阻丈量的影响。具体操作是在样品上等距放置四个探针,两个用于施加电流,另外两个用于丈量电压。通过这类方式得到的电压与电流之比即为方块电阻。
方块电阻在半导体行业中尤其重要,影响着器件的本征电阻和消耗工艺监控,比如可以离子注入和导电薄膜的监测,方块电阻可以反应出剂量和厚度等参数电路领域,方块电阻也是和工艺操作人员的重要接口,人员可以根据方块电阻来转换实际的电阻值,而工艺操作人员则可根据方块电阻肯定实际的电阻值。
方块电阻是衡量薄膜导电材料的重要参数计算公式和丈量方法在电子和半导体行业中的运用。通过对方块电阻的准确丈量和计算,可以地监控和优化材料的性能和电路的精确度。